簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="氮類分子"


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    以氮類分子自組裝薄膜應用於擴散阻擋層探討薄膜堆積密度與衰減長度關係之研究
    • /108/ 碩士
    • 研究生: 李姿葶 指導教授: 陳良益
    • 積體電路尺度微縮的情況下,銅導線的寬度也成為技術突破的一大挑戰,其中降低擴散阻擋層厚度至分子尺度將會有很大的幫助。為達到分子級尺度的擴散阻擋層並且符合無毒性元素的材料條件下,本論文選用三種不同結構的…
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    • 全文公開日期 2025/08/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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